制造半導體（最精密的電子元件）的工廠使用大量高度先進的精密設備，與其他行業的工廠相比，這些設備需要最高的精度。這些設備對最微小的功率波動和環境條件的變化也很敏感，因此需要嚴格的環境管理。因此，半導體工廠電源的穩定性和可靠性極為重要，并且有即使是輕微的電壓下降也可能導致高昂的代價損失。

本文著眼于半導體工廠中的典型備份目標（如半導體制造設備）、大規模備份目標（如生產線區域和儀表系統），并詳細解釋了適合每個目標的UPS，以及所需的性能和功能。

一、半導體工廠的典型UPS備用電源設備：

1．半導體制造設備：

半導體制造的各個過程中使用的半導體制造設備種類繁多。半導體以大量的制造工藝而聞名，而每一個工藝也都需要使用到大量的半導體制造設備。

2．為什么半導體制造設備需要UPS不間斷電源：

半導體制造工廠擁有許多半導體制造設備，即使其中一種設備出現問題，也可能導致不良批次等損失。

對于半導體制造設備，設備制造商的SEMI標準（SEMIstandard、SEMIinternationalstandard）SEMIF47規定了電壓暫掛抗擾度（對瞬時電壓降的抵抗力）。因此，UPS不間斷電源不是由半導體工廠提供的，而是通常由半導體制造設備制造商在制造過程中安裝。

3．什么是為半導體制造設備提供備用的不間斷電源：

必須根據半導體制造設備的類型和規模選擇合適的UPS備用電源功率，但當僅備用控制單元時，1kVA至3kVA或最多5kVA通常就足夠了。另一方面，在為整個半導體制造設備提供用電源時，需要100kVA或更高的大容量UPS備用電源。

二、半導體制造設備所需的UPS不間斷電源功能：

1．電池壽命：

由于半導體制造過程非常精確且產品價格昂貴，因此停止半導體制造設備進行維護需要付出很多努力。在維護半導體制造設備內置的UPS備用不間斷電源時也是如此。在鉛酸電池UPS備用電源的情況下，據說電池壽命為2到5年，而鋰離子電池的使用壽命約為10年2。

2．國際標準：

半導體制造設備經常用于海外生產基地。特別是，具有獲得UL認證和CE標志受到高度重視，因為它們可以出口到美國、歐盟和其他國家。

二、全線、整層等半導體工廠的UPS備用電源：

1．什么是整條生產線、整層樓等的備用：

半導體制造設備的控制單元由單獨的UPS備用電源單元提供支持，以處理電源問題。然而較大區域的停電對策，例如整條生產線、整個空調設備或整個工廠，在半導體工廠中也是必不可少的。

例如：假設雷擊導致不到1秒的電壓降。盡管由于UPS備用電源的存在，每臺半導體制造設備的控制單元繼續正常運行，但設備的電源單元會停止，因此無法繼續生產。由于重新啟動半導體制造設備需要相當長的時間，這可能會導致在半導體工廠的情況下，損失極其昂貴。

2．什么是備份整條線路、整層樓等的UPS不間斷電源：

這需要一個大型UPS不間斷電源來為整條線路或區域提供備用電源。在大型工廠中，安裝10臺或更多200-300kVAUPS不間斷電源機組的情況并不少見。雖然這是一項巨大的設備投資，但在生產半導體等昂貴產品的工廠中，采取措施解決電力供應問題可以防止因停電而造成的的損失。

3．為整條線路、區域等提供不間斷電源所需的功能：

備份整條線路或區域的UPS不間斷電源非常大，并且使用大量電力。因此，選擇節能型UPS不間斷電源可以節省很多電費。

三、半導體工廠中儀器儀表系統的典型UPS備用電源：

1．什么是儀表系統：

儀表系統是一種從溫度傳感器、壓力傳感器等收集和監控信息的設備。它包括使用測量儀器測量溫度、壓力、流量等，并根據數據避免危險或自動控制設備的功能。

半導體工廠等大型工廠配備了大量的儀表設備，因為即使是生產設備的短暫停止也會對生產率產生重大影響并造成巨大損失。

2．為什么儀表系統需要UPS不間斷電源：

儀器儀表系統的電源通常是單相220V系統。另一方面，功率整個區域或線路的電源通常是三相280V系統。換句話說，整個樓層或線路的UPS備用電源無法為儀表系統提供時，必須采取單獨的措施來處理電源問題.

此外，由于停電或其他電源問題而導致的儀表系統關閉可能會破壞生產過程的穩定性并降低產品質量。對于昂貴的半導體，這可能會產生巨大的影響，并可能造成巨大的損失，因此必須采取措施。

3．什么是備份儀表系統的UPS不間斷電源：

必須根據儀表系統的類型和規模選擇合適的UPS不間斷電源功率，但在大多數情況下，1kVA至3kVA或最多5kVA就足夠了。

當與應急發電機一起使用時，備用時間約為5分鐘，以彌補發電機啟動所需的時間。如果不與發電機一起使用，則需要幾十分鐘到幾個小時的備份，直到在停電或其他停電的情況下恢復供電。

4．儀表系統所需UPS不間斷電源的功能：

易于維護對于為儀表系統提供不間斷電源的UPS備用電源非常重要。在面積廣闊的半導體工廠中，每根管道都安裝了大量的測量和控制設備，例如，在特定距離（50m）等處。和在大型工廠中，UPS備用電源的數量可以達到數千臺。